微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列。它和傳統透鏡一樣，Z小功能單元也可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等，同樣能在微光學角度實現聚焦、成像，光束變換等功能，而且因為單元尺寸小、集成度高，使得它能構成許多新型的光學系統，完成傳統光學元件無法完成的功能。
 

　　微透鏡是一種更常用勻光元件，其最大的特點是使用方便，勻化效果好，其更通用的名稱為工程散射片。由于微透鏡采用折射光學原理，因此其對波長不敏感，可以同時對多個波長的光進行勻化，無需每個波長配一個專門的勻化鏡。微透鏡均質器可以單獨使用也可以和聚焦鏡配合使用，配合聚焦鏡能夠獲得更好的勻化效果，不過就算單獨使用，勻化效果也是比較好的。
 

　　微透鏡工程散射片的原理非常簡單，就是光線通過聚焦鏡折射的原理。因為微透鏡可以認為是很多個聚焦鏡緊密排列在一起而構成，假設平行光入射，每一個微透鏡讓照射到自身區域的入射光產生折射，在遠處形成一個均勻光斑。整個微透鏡陣列的效果就是無數個均勻光斑的疊加，自然也是一個均勻光斑，只是邊緣稍顯模糊。微透鏡的面形控制對于最后勻化的效果至關重要。
 

　　微透鏡陣列是由許多形狀相同的微米尺寸小透鏡按一定規律排列而成的陣列，小透鏡的形狀可以是圓形，正方形，六邊形，四方形或是其他形狀，它們大都按照正方形網格狀排列，也可以按照六邊形或是其他形狀排列。微透鏡的特點是小型化、集成化、設計自由度大。它能實現激光勻化、分束和光束聚焦、高靈敏度成像、準直、波前傳感等功能。一般應用于高靈敏度成像，光纖耦合通訊，激光美容，激光加工及探測等方面。